一种微电铸金属模具的制作方法,包括模具基底前处理、微电铸母模的制作、微电铸、微电铸后处理、模具的检测工序,其特征是：采用“无背板生长法”,无背板生长法就是通过紫外线UV照射光刻掩模板直接在镍基板上电铸出微结构图形；在微电铸母模的制作工序中,在SU-8光刻胶与基板间加入了光刻胶的种子层；在微电铸后处理工序中,采用真空退火,其制作方法的具体步骤如下：

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